白光干涉测试工作原理及测量步骤

　　白光干涉测试(也称为白光干涉测量或白光共焦扫描)是一种非接触式的光学测量技术，广泛应用于精密表面形貌测量领域。与传统的单色激光干涉测量相比，白光干涉测量利用的是宽光谱光源(如LED)，通过干涉现象来获取样品表面的高度信息和其他特性。

　　测量步骤

　　光源准备：使用宽光谱的光源，如LED或卤素灯等。

　　光路构建：构建包含分束器、参考镜和样品的光路系统。

　　数据采集：通过移动参考镜，改变光路中的光程差，同时记录干涉信号强度的变化。

　　数据处理：分析记录的干涉信号，确定干涉最大值对应的位置，从而得到样品表面的相对高度信息。

　　图像重建：基于高度信息生成三维表面形貌图。

　　工作原理

　　白光干涉测试的核心在于利用白光的干涉特性。当一束白光照射到样品表面时，一部分光反射回检测器，另一部分光在样品表面形成干涉条纹。由于白光包含了多个波长的光，因此只有在特定的位置(即光程差等于整数倍波长的地方)才会形成强烈的干涉信号。通过移动参考镜改变光路长度，可以找到干涉信号最强的位置，从而确定样品表面相对于参考平面的高度。